機械電気工学科
教授
博士(工学)
専攻科長
硬式野球部
計算力学,精密加工学
半導体デバイス研磨に関する研究
https://researchmap.jp/a-fukuda_tokuyama/
社会で活躍できる技術者を育成するために,授業等を通して高専生として相応の専門知識・技能を身に付けさせるとともに,課外活動等を通して自主性・積極性・責任感・勤勉性・粘り強さ・コミュニケーション力などの非認知能力の涵養の手助けをする.
高専生として相応の専門知識・技能を身に付けさせるために,授業中に演習問題を実施したり,宿題を課したりすることで,単に暗記するだけではなく自ら考える力を養えるように工夫する.
外部資金を獲得して研究を継続できるように努める.
平成 6年 3月 | 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科卒業 |
平成 8年 3月 | 豊橋技術科学大学 工学部エネルギー工学課程卒業 |
平成10年 3月 | 豊橋技術科学大学 大学院工学研究科 修士課程 修士(工学) |
平成22年 3月 | 九州大学 大学院工学府 博士後期課程 知能機械システム専攻修了 博士(工学) |
平成10年 4月 | 株式会社荏原製作所(平成11年3月まで) |
平成11年 4月 | 株式会社荏原総合研究所(平成21年3月まで) |
平成21年 4月 | 株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー (平成24年7月まで) |
平成24年 8月 | 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科 准教授(令和3年3月まで) |
令和 3年 4月 | 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科 教授(現在に至る) |
平成10年 9月 | 日本機械学会 会員(現在に至る) |
平成11年12月 | 日本液体微粒化学会 会員(令和6年3月まで) |
平成13年 4月 | 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 委員(現在に至る) |
平成13年 5月 | 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 ホームページ検討部会 委員 (平成29年2月まで) |
平成16年 5月 | 精密工学会 会員(現在に至る) |
平成18年12月 | 電子情報技術産業協会 次世代ウェーハ技術小委員会 委員(平成20年3月まで) |
平成20年 7月 | 砥粒加工学会 会員(現在に至る) |
平成23年 3月 | 日本機械学会 関東支部 商議員(平成24年7月まで) |
平成24年 4月 | 日本機械学会 校閲委員(平成26年3月まで) |
平成29年 4月 | 砥粒加工学会 論文査読委員(現在に至る) |
平成31年 4月 | 精密工学会 校閲委員会協力委員(令和5年3月まで) |
令和 7年 3月 | 精密工学会 中国四国支部 商議員 (現在に至る) |
平成13年 5月 | International Conference on Fundamentals of Adsorption 7 Best Poster Award受賞 |
平成18年 7月 | 株式会社荏原総合研究所 総研賞受賞 |
2020年4月~現在 株式会社荏原製作所「CMPドレッシングシミュレーションの開発」
2012年12月~2020年3月 株式会社荏原製作所「汎用流れ解析ソフトを利用した研磨シミュレーション技術の開発」